晶圆研磨薄化清洗机
■ 产品规格|
1
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清洗Chamber
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1-1
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药水喷机构与Nozzle
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1-2
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DIW清洗Nozzle
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1-3
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CDA Purge Nozzle
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1-4
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研磨盘承载机构
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1-5
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研磨盘旋转机构
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1-6
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Exhaust、meter与排水装置
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2
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DIW水枪与压力感测器
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3
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CDA气枪与压力感测器
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4
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原液桶供应装置
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5
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供应桶供应装置
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6
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Pump供应模组
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6-1
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泵浦、Damper
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6-2
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过滤器
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6-3
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压力表
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7
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药水回收装置
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7-1
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回收Pump模组、Filter模组
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8
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机台控制系统(PC+PLC Unit)
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