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1.用於Wafer 金属/光阻去除与清洗连续制程 。2.薄化Wafer清洗6/8寸50um。3.Micro/mini LED金属光阻去除与清洗。4.GaAs/GaN/Inp wafer金属光阻去除与清洗。5.Chip Clean。6.Laser Debond Clean。信闳科技有限公司整合各领域专长之技术，包涵机械设计、自动控制、视觉、电控、电子电路等，发展半导体、LED、光电、封测与通讯半导体等产业设备。

■ 产业类别 :

1.黄光、蚀刻、清洗设备设计制作
2.自动化设备设计制作
3.治具设计制作
4.零组件设计加工制作

■ 营业产品范围：

1.金属与光阻去除、清洗机 -Metal Liftoff and PR Stripper Tool (MLT)
■Wafer 金属/光阻去除与清洗连续制程 。
■薄化Wafer清洗6/8寸50um。
■Micro/mini LED金属光阻去除与清洗。
■GaAs/GaN/Inp wafer金属光阻去除与清洗。
■Chip/Laser Debond Clean。
2.金属蚀刻机 -Spin Etching Tool (SET)
3.光阻涂布机、显影机 -Spin Coater Tool (SCT)、Spin Develop Tool (SDT)
4.晶圆研磨薄化清洗机
5.Wafer Sorter机台
6.雷射雕刻机 -Laser Marking Tool (LMT)
7.批次晶圆蚀刻、去光阻、清洗设备
8.晶圆电镀设备
9.化液、研磨液供应系统与药液监控分析、补正

 

服务内容: 半导体设备,LED设备,光电设备,通讯半导体,设备业,自动化

主要服务地区：大陆, 东南亚, 日韩, 全国地区