晶圓研磨薄化清洗機
■ 產品規格|
1
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清洗Chamber
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1-1
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藥水噴機構與Nozzle
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1-2
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DIW清洗Nozzle
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1-3
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CDA Purge Nozzle
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1-4
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研磨盤承載機構
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1-5
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研磨盤旋轉機構
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1-6
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Exhaust、meter與排水裝置
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2
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DIW水槍與壓力感測器
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3
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CDA氣槍與壓力感測器
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4
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原液桶供應裝置
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5
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供應桶供應裝置
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6
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Pump供應模組
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6-1
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泵浦、Damper
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6-2
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過濾器
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6-3
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壓力錶
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7
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藥水回收裝置
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7-1
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回收Pump模組、Filter模組
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8
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機台控制系統(PC+PLC Unit)
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