單槽晶圓金屬/光阻/清洗機(晶圓、擴晶、雷切、光罩、薄化Wafer )
電洽
一
晶圓清洗機(晶圓、擴晶環、鐵框環、雷射切割、光罩 )
規格
1.使用於Wafer尺寸2~12吋
2.使用於Wafer厚度100-1000 um