信閎科技有限公司

1

清洗Chamber

1-1

藥水噴機構與Nozzle

1-2

DIW清洗Nozzle

1-3

CDA Purge Nozzle

1-4

研磨盤承載機構

1-5

研磨盤旋轉機構

1-6

Exhaust、meter與排水裝置

2

DIW水槍與壓力感測器

3

CDA氣槍與壓力感測器

4

原液桶供應裝置

5

供應桶供應裝置

6

Pump供應模組

6-1

泵浦、Damper

6-2

過濾器

6-3

壓力錶

7

藥水回收裝置

7-1

回收Pump模組、Filter模組

8

機台控制系統(PC+PLC Unit)